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高纯石墨毡
● 高机械强度 ● 良好的隔热性 ● 突出的热稳定性 ● 高纯度、杂质含量低 ● 极好的抗震性和耐腐蚀性 ● 使用寿命长

所属分类 半导体行业用高纯石墨毡

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产品详情

独创以碳纤维软毡为原料生产固化毡,并经过2400℃高温石墨化一次成型。

硬毡采用密度梯度法结构工艺,并进行各种表面工艺处理或纯化处理,强度更高、耐氧化性能更好、孔隙率高。

所有成毡设备、浸渍设备、固化成型设备、碳化和石墨化设备、高温化学纯化设备实现自主研制。

优点:

● 高机械强度                                         

● 良好的隔热性 

● 突出的热稳定性                                 

● 高纯度、杂质含量低 

● 极好的抗震性和耐腐蚀性                   

● 使用寿命长

● 独特工艺、表面不落粉不掉色

应用:

主要用于真空或惰性气体保护下的高温环境,如半导体晶体生长炉、光伏单晶硅/多晶硅炉、光纤预制棒和拉丝炉、蓝宝石生长炉、高端金属热处理炉等

四 川 骏 瑞 高 纯 石 墨 毡  技术指标

(Technical Specifications)

技术指标 Technical Indicators

单位Unit

技术参数 technical parameters

体密度 Volumn Density

g/cm³

0.15-0.30

平均热导率 Average thermal conductivity

1400 W/m·K

0.25 0.35 

生产温度 Production Temperature

2200

热膨胀系数 Thermal expansion coefficient

3000

10-6/2.5±0.5

杂质 Impurity Parts per million

PPM

5PPM 

电阻率 面方向(5%) Resistivity@0.1Mpa

Ω.m

2.0*10-4 3.5*10-4

表面处理 Externalsurfacetreatment

/

1:贴石墨薄纸

2:贴碳纤维布

耐压强度

compressive strength

面方向(5%)

plane direction

Mpa

1.8-1.3

两侧方向

Two sided direction

1.79 1.77 1.56 1.56 

弯曲强度

bending strength

面方向5%

plane direction

Mpa

2.3-1.8 

两侧方向

Two sided direction

1.33 1.2 1.2 1.2 

碳含量 Carbon Content

%

99.90

使用环境 Usage environment

空气air  

400 400 400 400

平均导热系数 (ThermalConductivity)

W/(m·K)

1400

真空vacuum :0.25 

氩气argon:0.35